Sujets de recherche - MEMS

Intégration de matériaux avancés

• Transduction diélectrique pour les MEMS (contact: B. Legrand)
• Transduction piézo-électrique pour les MEMS (contact: L. Nicu/D. Saya)
• Matériaux à transition de spin pour l’actuation de MEMS (contact: L. Nicu/T. Leichle)
• Intégration de nanostructures hybrides (contact: C. Bergaud)
• Polymères électro-actifs pour muscles artificiels (contact: C. Bergaud)
• Muscles osmotiques (contact: V. Mansard)
• Appareils magnétiques portables (contact: T. Leichle)

Instrumentation/Caractérisations mécaniques

• AFM ultra-rapide (contact: B. Legrand)
• Ultra-low-power logic gates based on contactless capacitive MEMS devices (contact: B. Legrand)

Biodétection

• Implants neuronaux pour l’enregistrement et la simulation de l’activité cérébrale (contact: C. Bergaud)
• Résonateurs MEMS pour biocapteurs (contact: L. Nicu/T. Leichle)
• Stratégies de biofonctionnalisation (contact: L. Nicu/T. Leichle)
• Nanofluidique et biodétection (contact: T. Leichle)
• Membranes de silicium poreux pour laboratoires sur puce (contact: T. Leichle)