Dans cet article invité, les auteurs présentent leurs travaux sur la conception, la fabrication et la caractérisation de matrices de MOEMS (MicroSystèmes Optiques Electro-Mécaniques) à base de polymères pour le contrôle dynamique du faisceau émis par des matrices de diodes lasers verticales (VCSELs). Ce MOEMS est constitué d'une membrane suspendue en résine SU8, sur laquelle va être intégrée par dépôt jet d'encre une microlentille en polymère avec une très bonne précision d'alignement, grâce à des encoches d'auto-centrage intégrées (cf. photo). Grâce aux propriétés thermiques particulières de la SU-8, la membrane peut être translatée verticalement sur une course de 8µm avec un actionnement électrothermique de faible puissance (42mW). Ceci permet donc de modifier en temps réel la distance laser-microlentille et donc la position et la taille du faisceau focalisé après la lentille. Des premières réalisations sur des matrices de VCSELs multimodes sont présentées et l'évolution du faisceau laser mesurée sans et avec actionnement est en bon accord avec les modélisations optiques. Les applications visées par ce nouveau type de micro-scanner concernent la réalisation de bio-capteurs optiques portables pour la micro-analyse en flux.
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