Publication trimestrielle du Laboratoire
d'analyse et d'architecture des systèmes du CNRS
Les nanotubes de carbones (NTC) possèdent des propriétés électriques pouvant répondre aux futures demandes de la microélectronique. Toutefois, des méthodes d'intégration de ces nano-objets dans des systèmes complexes doivent être développées. Le but de ces travaux de thèse était le développement d'un procédé permettant de déposer sélectivement des NTC double parois de manière orienté, et ce, à l'échelle d'un wafer de silicium.Un certain nombre de méthodes ont été développées. L'utilisation d'un spray de suspension de NTC couplé à différentes méthodes de microstructuration à permit de réaliser, à de grande échelles, des dépôts de tapis de NTC microstructuré à des résolutions de l'ordre du micron. Bien que ne répondant pas à tous les critères requis pour la microélectronique ces techniques de dépôt on put trouver une application dans le domaine de l'ingénierie tissulaire. Ces travaux ont donné lieu à un dépôt de brevet.Afin d'améliorer les méthodes de synthèse de nos échantillons de NTC conducteur, une technique de caractérisation grande échelle des caractéristiques électriques de NTC a été mise en oeuvre. En effet, l'impossibilité d'obtenir une information statistique sur les propriétés des NTC présent dans un échantillon entravait les possibilités d'optimisation. La technique développée se base sur l'étude de la réponse d'un ensemble de NTC soumis à une forte rampe de tension. La destruction successive des NTC permet de mesurer les propriétés de nano-objets individuels et ainsi de rapidement tirer des donnés statistiques.Finalement, une technique originale basée sur la manipulation de NTC par des champs électriques et des forces capillaires a été développée. Le contrôle des forces capillaires permet de concentrer des NTC dans une cavité ou ces derniers seront piégés et alignés par un champ électrique. Cette technique a permit non seulement d'obtenir des connexions en NTC denses et très conductrices mais également de réaliser divers dispositifs fonctionnelles tel que des nano-résonateurs ou encore des capteurs.