Publication trimestrielle du Laboratoire
d'analyse et d'architecture des systèmes du CNRS
L’un des premiers domaines de la microélectronique concerne les capteurs de pression au silicium. Le domaine des MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), les microsystèmes en Europe, couvre un large champ de recherche. Mes travaux concernent la conception, la technologie et la caractérisation et peuvent correspondre à plusieurs niveaux d’intégration (matériau, composant, système). Ces recherches sont donc pluridisciplinaires et nécessitent de mettre en place des collaborations denses avec les meilleurs spécialistes de chaque domaine. Comme un thème scientifique s’étend de la création de nouveaux concepts au transfert industriel, il est primordial de lancer régulièrement de nouvelles thématiques avant la fin de la phase de transfert industriel afin de profiter des opportunités et des financements. J’ai ainsi travaillé sur trois thématiques scientifiques : les capteurs de pression en phase de transfert industriel, les MEMS RF en phase d’étude de fiabilité et les capteurs sans fil passifs à transduction électromagnétique en phase de validation des concepts.