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La plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS vient de s’enrichir d’un nouvel équipement, un microscope électronique à balayage couplé à un système de faisceau d’ions focalisé. Dans cet équipement de dernière génération, un faisceau d’ions Gallium est utilisé pour usiner la matière directement par impact, pour déposer localement des matériaux (métaux ou isolants) ou pour l’observation « destructive ». L’observation « non destructive simultanée » est réalisée à l’aide d’un faisceau d’électrons et permet le repérage, l’alignement et l’imagerie haute résolution des échantillons.

L’automatisation des procédures et la stabilité de la machine sont les principaux atouts de cet équipement. Il est destiné à la caractérisation d‘échantillons au cours de leur fabrication, cross-section, lamelles pour la microscopie en transmission par exemple, pour l’étude des résultats ou l’analyse de défaillance. Des outils complémentaires étendent ses capacités vers l’analyse élémentaire (EDX), l’imagerie en transmission et à très basse tension (50V) ainsi que vers la lithographie électronique ou ionique.
Cet appareil va permettre à la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS d’étendre ses capacités en caractérisation et en imagerie à haute résolution. Son aptitude à graver et déposer localement des métaux ou des isolants, couplée à de l’imagerie et à l’alignement, lui confère la possibilité de prototypage rapide de nouveaux projets : connexion de nano-objets, fabrication de moules pour la nano-impression,… ainsi que la modification ou la réparation localisée en cours de fabrication : court-circuit ou absence de continuité, masques optiques par exemple.

La plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS fait partie du réseau national des 7 plateformes RTB (recherche technologique de base) Renatech. Depuis avril 2007, elle bénéficie d’une salle blanche de 1500 m2 de classes 10.000 et 100, grâce au financement de la Région Midi-Pyrénées, du CNRS, de l’ANR propre au réseau RTB et du Club des affiliés du LAAS. Ces moyens mutualisés permettent l’intégration de nouveaux composants pour la gestion de l’énergie, les télécommunications, la chimie et la biologie, le développement de technologie spécifique jusqu’à la réalisation de démonstrateurs sur la base de filières flexibles.